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碳化硅悬臂桨的设计特点及用途有哪些?

2020-07-18 作者:碳化硅研究员

  碳化硅悬臂桨,也称为碳化硅棒反应烧结碳化硅悬臂浆料,是半导体晶片装载系统的关键部件。悬臂浆料性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆加载力大,适用于机器人自动加载和搬运系统;

  碳化硅悬臂桨的设计特点:

  1、在高温环境下不变形,晶片装载力大;

  2、耐极冷急热,使用寿命长;

  3、悬臂浆热膨胀系数极小,极大地延长了维护清洗的周期;

  4、碳化硅悬臂桨大幅减少污染物;

  碳化硅悬臂桨的用途:

  1、碳化硅悬臂浆料主要用于光伏行业。光伏新能源产业用碳化硅悬臂梁浆料的主要规格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等;

  2、应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用;

  3、碳化硅悬臂桨浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统;

  4、由于碳化硅悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能;

  5、碳化硅悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物

  总之,碳化硅悬臂桨具有高强度、高纯度、 高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点,避免了与炉管的直接接触,延长了炉管的使用寿命,解决了其它材质悬臂桨易断裂,载重量小,成本高的问题。目前,现有技术中碳化硅悬臂桨的制作工艺非常复杂,并且每个厂家的工艺都有所不同,且碳化硅悬臂桨的合格率低,而造成碳化硅悬臂桨成本高;