about
悬臂浆

悬臂浆

摘要说明 :

反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层

详情:

反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。
产品特点:
1、在高温环境下不变形,晶片装载力大;
2、耐极冷急热,使用寿命长;
3、悬臂浆热膨胀系数极小,极大地延长了维护清洗的周期。
主要用途:悬臂浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。
具体规格尺寸可按照客户要求制作